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开发目的:
Inline 前工站LCD自动上料。
设备附有两组CST Port可自动交换,需人工放置CST至LD Port,基板由Robot方式从底层开始取片,Fork通过传感器侦测后,自动将基板取出,放置C/V上,LCD由C/V送入水刀清洗再有AK吹干,送入下一道工序。整台设备包含1台四轴机械手,22台伺服电机,18根单轴机械手等主要部件组成。