应用制程

LCD/LED Coating，蓝膜固化

产品尺寸

无级兼容1300*1500以下

发热单元

陶瓷加热板

最高工作温度

200℃

制程温度

150℃

温度均匀性

±3℃

升温速率

RT~150℃ < 15min

进出料方式

单片进出全自动Inline模式

开闭门方式

气缸

无尘等级

1000 Class

挥发物废气处理

冷凝处理排出

腔内其他管控

N2进出，侦测炉内含氧量

软体功能

温度、时间、ID上报CIM/MES/ERP