应用制程

CT Rework

产品尺寸

无级兼容75寸以下

发热单元

加热丝风循环

最高工作温度

180℃

制程温度

150℃

温度均匀性

±3℃

升温速率

RT~150℃ < 45min

进出料方式

整CST进出全自动Inline模式

开闭门方式

气缸

传动方式

伺服电机+磁性滚轮

无尘等级

1000 Class

挥发物废气处理

冷凝处理排出

软体功能

温度、时间、ID上报CIM/MES/ERP